產(chǎn)品中心
聯(lián)系我們
手機： 0532-86625732
郵箱： mamie_chm@126.com
地址： 青島市膠州市上合示范區(qū)閩江路60號
設(shè)備名稱 :等離子增強化學氣相沉積PECVD
品牌型號: SAMCO PD-220NL
設(shè)備用途
主要用于二氧化硅和氮化硅介質(zhì)膜沉積
主要技術(shù)指標：
氣體：SIH4 CF4 PN2 NH3 N20 O2
沉積速率：> 30nm/min
均勻性：片內(nèi)小于±5%，片間小于±5%，批次小于±5%
